Microstructure and property of multilayered and granular Fe-Al-N thin films prepared by rf sputtering

• Material Type: 博士論文
• Title: Microstructure and property of multilayered and granular Fe-Al-N thin films prepared by rf sputtering
• Author/Editor: 藤木充司 [著]
• Author Heading: 藤木, 充司 フジキ, ミツシ
• Alternative Title: 高周波スパッタ法により作製した積層及び分散系Fe-Al-N薄膜の微細構造と物性 コウシュウハ スパッタホウ ニ ヨリ サクセイシタ セキソウ オヨビ ブンサンケイ Fe-Al-N ハクマク ノ ビサイ コウゾウ ト ブッセイ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成8年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 甲第5421号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-E24
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000294627; http://id.ndl.go.jp/bib/000000294627
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Chapter1 Introduction

1-1 Introduction

1-2 Purpose of this study

References