プラズマプロセスを用いたⅢ-Ⅴ化合物半導体の表面モディフィケーションに関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
参考文献
p3
第2章 プラズマプロセスによるInPの表面モディフィケーションと評価方法
p4
2.1.緒言
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ プロセス オ モチイタ 3 - 5 カゴウブツ ハンドウタイ ノ ヒョウメン モディフィケーション ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 坂本善史 [著]
- Author Heading
- 坂本, 善史 サカモト, ヨシフミ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成8年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第5578号
- Degree Type
- 博士 (工学)