シリコン結晶への金拡散およびこれにともなう点欠陥の挙動に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 緒言
p1
1.2 従来のシリコン結晶中の金拡散の研究
p3
1.3 本研究の目的と概要
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン ケッショウ エ ノ キン カクサン オヨビ コレニ トモナウ テン ケッカン ノ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 高橋学 [著]
- Author Heading
- 高橋, 学 タカハシ, マナブ
- Degree grantor/type
- 岡山大学
- Date Granted
- 平成8年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第1457号
- Degree Type
- 博士 (工学)