透過電子顕微鏡法による薄膜トランジスタのプロセス信頼性向上に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 緒言
p1
1.1 薄膜トランジスタおよびその製造プロセスの概要
p1
1.2 研究の目的とその背景
p6
1.3 本論文の構成
p9
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- トウカ デンシ ケンビキョウホウ ニ ヨル ハクマク トランジスタ ノ プロセス シンライセイ コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 辻智 [著]
- Author Heading
- 辻, 智 ツジ, サトシ
- Degree grantor/type
- 名古屋大学
- Date Granted
- 平成8年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第3453号
- Degree Type
- 博士 (工学)