レーザーCVD法によるモリブデン膜およびタンタル酸化物膜の作製に関する研究
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Table of Contents
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目次
p1
第1章 緒言
p1
第2章 炭酸ガスレーザーCVD法によるMo(CO)₆の光分解と成膜
p5
2.1 はじめに
p5
2.2 実験方法
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- レーザー CVDホウ ニ ヨル モリブデンマク オヨビ タンタル サンカブツマク ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 渡邊昭雄 [著]
- Author Heading
- 渡邊, 昭雄 ワタナベ, アキオ
- Degree Grantor
- 名古屋大学
- Date Granted
- 平成8年3月1日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第4953号
- Degree Type
- 博士 (工学)