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博士論文

リモートプラズマ励起有機金属化学気相堆積法によるZnSeの成長

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NDL Digital Collections

リモートプラズマ励起有機金属化学気相堆積法によるZnSeの成長

Call No. (NDL)
UT51-96-H73
Bibliographic ID of National Diet Library
000000296343
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3111319
Material type
博士論文
Author
青木徹 [著]
Publisher
-
Date granted
平成8年3月23日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
静岡大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p3

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1節 MOCVD法の背景

    p3

  • 1.2節 リモートプラズマCVD法の背景

    p6

  • 1.3節 研究の概説,目的

    p8

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
リモートプラズマ励起有機金属化学気相堆積法によるZnSeの成長
Title Transcription
リモート プラズマ レイキ ユウキ キンゾク カガク キソウ タイセキホウ ニ ヨル ZnSe ノ セイチョウ
Author/Editor
青木徹 [著]
Author Heading
青木, 徹 アオキ, トオル
Degree Grantor
静岡大学
Date Granted
平成8年3月23日
Date Granted (W3CDTF)
1996
Dissertation Number
甲第128号
Degree Type
博士 (工学)