リモートプラズマ励起有機金属化学気相堆積法によるZnSeの成長

• Material Type: 博士論文
• Title: リモートプラズマ励起有機金属化学気相堆積法によるZnSeの成長
• Title Transcription: リモート プラズマ レイキ ユウキ キンゾク カガク キソウ タイセキホウ ニ ヨル ZnSe ノ セイチョウ
• Author/Editor: 青木徹 [著]
• Author Heading: 青木, 徹 アオキ, トオル
• Degree grantor/type: 静岡大学
• Date Granted: 平成8年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 甲第128号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-H73
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000296343; http://id.ndl.go.jp/bib/000000296343
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1節 MOCVD法の背景

1.2節 リモートプラズマCVD法の背景

1.3節 研究の概説,目的