リモートプラズマ励起有機金属化学気相堆積法によるZnSeの成長
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国立国会図書館デジタルコレクション
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Table of Contents
目次
p3
第1章 序論
p1
1.1節 MOCVD法の背景
p3
1.2節 リモートプラズマCVD法の背景
p6
1.3節 研究の概説,目的
p8
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- リモート プラズマ レイキ ユウキ キンゾク カガク キソウ タイセキホウ ニ ヨル ZnSe ノ セイチョウ
- Author/Editor
- 青木徹 [著]
- Author Heading
- 青木, 徹 アオキ, トオル
- Degree grantor/type
- 静岡大学
- Date Granted
- 平成8年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第128号
- Degree Type
- 博士 (工学)