多元スパッタリング法による強誘電体薄膜の作製とその特性評価
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国立国会図書館デジタルコレクション
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Table of Contents
<目次〉
1.緒言
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 本研究の目的
p2
1.3 論文の概略
p2
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- タゲン スパッタリングホウ ニ ヨル キョウユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ トクセイ ヒョウカ
- Author/Editor
- 眞岩宏司 [著]
- Author Heading
- 眞岩, 宏司 マイワ, ヒロシ
- Degree grantor/type
- 早稲田大学
- Date Granted
- 平成7年12月7日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1995
- Dissertation Number
- 乙第1151号
- Degree Type
- 博士 (工学)