アーク放電プラズマによるダイヤモンドの生成における塩素の効果に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 プラズマの一般的性質とCVD法への適用
p1
1.2 種々のダイヤモンド合成法とプラズマCVDによるダイヤモンドの合成
p5
1.3 ダイヤモンド膜のキャラクタリゼーション
p13
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- アーク ホウデン プラズマ ニ ヨル ダイヤモンド ノ セイセイ ニ オケル エンソ ノ コウカ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 古滝敏郎 [著]
- Author Heading
- 古滝, 敏郎 コタキ, トシロウ
- Degree grantor/type
- 青山学院大学
- Date Granted
- 平成8年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第52号
- Degree Type
- 博士 (理学)