有機金属気相成長法による化合物半導体の生産技術に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 はじめに
p1
1-1.はじめに
p1
1-2.研究の背景;MOVPEの開発史
p1
1-3.本研究の論文構成
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ セイサン ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 松本功 [著]
- Author Heading
- 松本, 功 マツモト, コウ
- Degree grantor/type
- 名古屋工業大学
- Date Granted
- 平成8年3月15日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第97号
- Degree Type
- 博士 (工学)