窒化アルミニウムのLSIへの応用に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
序章
p3
第1章 AlNセラミックスの材料特性
p5
1.1 高熱伝導セラミックスの条件
p5
1.2 AlNセラミックスの高熱伝導機構
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- チッカ アルミニウム ノ LSI エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 岩瀬暢男 [著]
- Author Heading
- 岩瀬, 暢男 イワセ, ノブオ
- Degree grantor/type
- 法政大学
- Date Granted
- 平成8年3月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第92号
- Degree Type
- 博士 (工学)