シリコン半導体素子の透過電子顕微鏡断面観察による結晶欠陥の解析・評価に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコン半導体素子の透過電子顕微鏡断面観察による結晶欠陥の解析・評価に関する研究
• Title Transcription: シリコン ハンドウタイ ソシ ノ トウカ デンシ ケンビキョウ ダンメン カンサツ ニ ヨル ケッショウ ケッカン ノ カイセキ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 青木茂 [著]
• Author Heading: 青木, 茂 アオキ, シゲル
• Degree grantor/type: 千葉工業大学
• Date Granted: 平成7年12月19日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 乙第4号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-K213
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000297597; http://id.ndl.go.jp/bib/000000297597
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第I部 概説

第1章 序論

1.1 シリコン(Si)半導体素子と微細化

1.2 Si半導体素子における結晶欠陥と素子特性