博士論文

ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-96-L342
Bibliographic ID of National Diet Library
000000298258
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3113067
Material type
博士論文
Author
伊藤貴司 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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Table of Contents

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1-1 本研究の背景

    p1

  • 1-2 ガス放出スペクトル

    p2

  • 1-3 拡散

    p3

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
Title Transcription
ガス ホウシュツ スペクトル オ モチイタ デンシ ザイリョウ ノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
伊藤貴司 [著]
Author Heading
伊藤, 貴司 イトウ, タカシ
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
平成8年3月28日
Date Granted (W3CDTF)
1996
Dissertation Number
乙第6929号
Degree Type
博士 (工学)