DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究
• Title Transcription: DC アーク プラズマ ジェット CVDホウ ニ ヨル ダイヤモンド ハクマク ノ コウソク ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 比嘉晃 [著]
• Author Heading: 比嘉, 晃 ヒガ, アキラ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成8年6月27日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 乙第6975号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-L388
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000298304; http://id.ndl.go.jp/bib/000000298304
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 ダイヤモンド合成の歴史

1.2 ダイヤモンドの気相合成

1.3 本研究の目的