Characterization of non-uniform multilayer semiconductor structures by automated spectroscopic ellipsometry

• Material Type: 博士論文
• Title: Characterization of non-uniform multilayer semiconductor structures by automated spectroscopic ellipsometry
• Author/Editor: Magdi Ezzat El-ghazzawi [著]
• Author Heading: Magdi Ezzat El-ghazzawi マグデ エザト エリガザウィ
• Alternative Title: 自動分光エリプソメトリーによる不均一多層半導体構造の評価 ジドウ ブンコウ エリプソメトリー ニ ヨル フキンイツ タソウ ハンドウタイ コウゾウ ノ ヒョウカ
• Degree grantor/type: 東京農工大学
• Date Granted: 平成8年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 博工甲第131号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-M411
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000298864; http://id.ndl.go.jp/bib/000000298864
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

CONTENTS

ACKNOWLEDGMENTS

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ABBREVIATIONS AND LIST OF SYMBOLS

PREFACE