イオンビーム成膜法による酸化チタン薄膜の作製とその応用に関する基礎的研究
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Table of Contents
学位請求論文要旨
目次
第1章 緒言
p1
第2章 酸化チタンとイオンビーム成膜法
p4
2.1 酸化チタンの基本的特性
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- イオン ビーム セイマクホウ ニ ヨル サンカ チタン ハクマク ノ サクセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 笹瀬雅人 [著]
- Author Heading
- 笹瀬, 雅人 ササセ, マサト
- Degree grantor/type
- 工学院大学
- Date Granted
- 平成8年3月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第24号
- Degree Type
- 博士 (工学)