Available with Digitized Contents Transmission Service
Find on the publisher's website
国立国会図書館デジタルコレクション
Available for viewing via the Digitized Contents Transmission Service for Individuals to official registered users of the NDL, who resides in Japan.
Search by Bookstore
Read this material in an accessible format.
Table of Contents
目次
第1章 緒論
p1
参考文献
p6
第2章 集積化気体流量制御システムについて
p7
2-1 マイクロコントロールバルブについて
p9
Search by Bookstore
Read in Disability Resources
- プレーンテキスト
Registered users of Mina Search can download or stream this content.
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- マイクロマシニング ニ ヨル ビショウ リュウリョウ セイギョ システム ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 沈東演 [著]
- Author Heading
- 沈, 東演 Sim, Dong Youn
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成8年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第5597号
- Degree Type
- 博士 (工学)