LSIにおける高機能配線接続技術に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 本論文の構成
p2
第2章 選択タングステンCVDによる高速穴埋め技術に関する研究
p3
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- LSI ニ オケル コウキノウ ハイセン セツゾク ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 鈴木浩 [著]
- Author Heading
- 鈴木, 浩 スズキ, ヒロシ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成8年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第5628号
- Degree Type
- 博士 (工学)