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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1-1 半導体技術の発展
p1
1-2 多層配線技術の課題
p2
1-3 配線材料および配線形成プロセス技術の歴史
p3
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- プレーンテキスト
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Title Transcription
- チョウコウソク LSIヨウ キンゾク ハイセン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 竹脇利至 [著]
- Author Heading
- 竹脇, 利至 タケワキ, トシユキ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成8年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第5630号
- Degree Type
- 博士 (工学)