Electrical properties and reliability of thin thermally grown SiO[2] films

• Material Type: 博士論文
• Title: Electrical properties and reliability of thin thermally grown SiO[2] films
• Author/Editor: 木村幹広 [著]
• Author Heading: 木村, 幹広 キムラ, ミキヒロ
• Alternative Title: 薄いシリコン酸化膜の電気的性質と信頼性 ウスイ シリコン サンカマク ノ デンキテキ セイシツ ト シンライセイ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成8年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 甲第5638号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-N201
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000299202; http://id.ndl.go.jp/bib/000000299202
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Chapter1 Introduction

■BACKGROUND

■OUTLINE

PART I INTRINSIC PROPERTIES