プラズマ励起によるInN薄膜単結晶の成長に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景および目的
p1
1.2 本論文の構成
p3
第2章 概説
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ レイキ ニ ヨル InN ハクマク タンケッショウ ノ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 佐藤祐一 [著]
- Author Heading
- 佐藤, 祐一 サトウ, ユウイチ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成8年3月15日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第6975号
- Degree Type
- 博士 (工学)