ULSIデバイスにおけるAl埋め込み多層配線の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: ULSIデバイスにおけるAl埋め込み多層配線の研究
• Title Transcription: ULSI デバイス ニ オケル Al ウメコミ タソウ ハイセン ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 宮川邦子 (菊田邦子) [著]
• Author Heading: 宮川, 邦子 ミヤカワ, クニコ; 菊田, 邦子 キクタ, クニコ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成8年3月15日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 乙第6978号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-N533
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000299534; http://id.ndl.go.jp/bib/000000299534
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 本研究の背景

1.2 LSI高集積化に伴う多層配線構造の発展と現状

1.3 本研究の目的と位置づけ