単純な反応場を利用したCVD反応機構の決定法 : 酸化物系CVDへの適用

• Material Type: 博士論文
• Title: 単純な反応場を利用したCVD反応機構の決定法 : 酸化物系CVDへの適用
• Title Transcription: タンジュンナ ハンノウバ オ リヨウシタ CVD ハンノウ キコウ ノ ケッテイホウ : サンカブツケイ CVD エ ノ テキヨウ
• Author/Editor: 江頭靖幸 [著]
• Author Heading: 江頭, 靖幸 エガシラ, ヤスユキ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成7年2月9日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 乙第12109号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-R370
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000301181; http://id.ndl.go.jp/bib/000000301181
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

目次

本論文の概要･構成

第1章 序論

第1部 単純反応場を用いた反応機構決定の理論