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博士論文

マイクロ素子への適用を目的とした機能性膜の合成および微細加工に関する研究

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マイクロ素子への適用を目的とした機能性膜の合成および微細加工に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-96-S261
Bibliographic ID of National Diet Library
000000301586
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3116394
Material type
博士論文
Author
森義博 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 論文目録

  • 目次

    p1

  • 第1章 緒論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p2

  • 1.2 従来の研究

    p5

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
マイクロ素子への適用を目的とした機能性膜の合成および微細加工に関する研究
Title Transcription
マイクロ ソシ エ ノ テキヨウ オ モクテキ ト シタ キノウセイ マク ノ ゴウセイ オヨビ ビサイ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
森義博 [著]
Author Heading
森, 義博 モリ, ヨシヒロ
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
平成8年3月26日
Date Granted (W3CDTF)
1996
Dissertation Number
甲第3162号
Degree Type
博士 (工学)