博士論文

シンクロトロン放射光を利用した露光装置における超精密駆動・位置決めに関する研究

Icons representing 博士論文
The cover of this title could differ from library to library. Link to Help Page

Available with Digitized Contents Transmission Service

Find on the publisher's website

国立国会図書館デジタルコレクション

Available for viewing via the Digitized Contents Transmission Service for Individuals to official registered users of the NDL, who resides in Japan.

Become an official registered user >

Log in >

シンクロトロン放射光を利用した露光装置における超精密駆動・位置決めに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-96-S376
Bibliographic ID of National Diet Library
000000301701
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3116509
Material type
博士論文
Author
福田真 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
View All

Notes on use

Note (General)：

博士論文

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Read this material in an accessible format.

View materials in accessible formats for people with print disabilities (1Type)

Table of Contents

  • 論文目録

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 研究の背景

    p1

  • 1.2 研究の目的

    p13

Search by Bookstore

Read in Disability Resources

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
シンクロトロン放射光を利用した露光装置における超精密駆動・位置決めに関する研究
Title Transcription
シンクロトロン ホウシャコウ オ リヨウシタ ロコウ ソウチ ニ オケル チョウセイミツ クドウ イチギメ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
福田真 [著]
Author Heading
福田, 真 フクダ, マコト
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
平成8年3月26日
Date Granted (W3CDTF)
1996
Dissertation Number
甲第3277号
Degree Type
博士 (工学)