CdF[2]のヘテロエピタキシャル成長に関する基礎研究
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Table of Contents
論文目録
第1章 序論
p1
1.1 マルチメディア社会とSi-LSIの高性能化の限界
p1
1.2 Siと異種材料の融合の必要性
p4
1.3 CdF₂の諸特性
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- CdF2 ノ ヘテロエピタキシャル セイチョウ ニ カンスル キソ ケンキュウ
- Author/Editor
- 和泉亮 [著]
- Author Heading
- 和泉, 亮 イズミ, アキラ
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成8年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 甲第3287号
- Degree Type
- 博士 (工学)