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博士論文

プラズマMOCVD法による酸化物機能性薄膜の作製とその応用に関する研究

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プラズマMOCVD法による酸化物機能性薄膜の作製とその応用に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-96-U476
Bibliographic ID of National Diet Library
000000302895
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3117704
Material type
博士論文
Author
藤井映志 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
筑波大学,博士 (工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

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  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景

    p1

  • 1.2 本研究の目的と意義

    p6

  • 1.3 本論文の構成

    p6

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
プラズマ MOCVDホウ ニ ヨル サンカブツ キノウセイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
藤井映志 [著]
Author Heading
藤井, 映志 フジイ, エイジ
Degree grantor/type
筑波大学
Date Granted
平成7年7月31日
Date Granted (W3CDTF)
1995
Dissertation Number
乙第1111号
Degree Type
博士 (工学)