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博士論文

ポストイオン化スパッタ中性粒子質量分析法に関する研究

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ポストイオン化スパッタ中性粒子質量分析法に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-96-V339
Bibliographic ID of National Diet Library
000000303316
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3118124
Material type
博士論文
Author
林俊一 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 緒言

    p1

  • 第1章 序論

    p10

  • 1.1 SIMSおよびSNMS開発の歴史

    p10

  • 1.2 スパッタリング

    p11

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
ポストイオン化スパッタ中性粒子質量分析法に関する研究
Title Transcription
ポスト イオンカ スパッタ チュウセイ リュウシ シツリョウ ブンセキホウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
林俊一 [著]
Author Heading
林, 俊一 ハヤシ, シュンイチ
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
平成8年7月26日
Date Granted (W3CDTF)
1996
Dissertation Number
乙第6993号
Degree Type
博士 (工学)