シリコンウェーハにおける重金属不純物と表面欠陥の挙動に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 緒言
p1
1.2 本研究の目的と概要
p6
参考文献
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン ウェーハ ニ オケル ジュウキンゾク フジュンブツ ト ヒョウメン ケッカン ノ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 宮崎守正 [著]
- Author Heading
- 宮崎, 守正 ミヤザキ, モリマサ
- Degree grantor/type
- 岡山大学
- Date Granted
- 平成8年9月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第3050号
- Degree Type
- 博士 (工学)