レーザー誘起蛍光法によるパルスレーザーデポジションプロセスの可視化に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: レーザー誘起蛍光法によるパルスレーザーデポジションプロセスの可視化に関する研究
• Title Transcription: レーザー ユウキ ケイコウホウ ニ ヨル パルス レーザー デポジション プロセス ノ カシカ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 中田芳樹 [著]
• Author Heading: 中田, 芳樹 ナカタ, ヨシキ
• Degree grantor/type: 九州大学
• Date Granted: 平成8年9月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 甲第3874号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-X343
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000304340; http://id.ndl.go.jp/bib/000000304340
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 パルスレーザーデポジションプロセスに関する研究の現状

1.3 PLDの気相プロセスにおける各種計測法