集束荷電粒子を用いた超高真空一貫微細加工プロセスに関する研究
Read via the Internet
Begin reading now
国立国会図書館デジタルコレクション
Search by Bookstore
Table of Contents
論文要旨
p1
目次
p3
第1章 序論
p1
1-1 本研究の目的,背景
p1
1-2 本研究の課題
p2
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シュウソク カデン リュウシ オ モチイタ チョウコウシンクウ イッカン ビサイ カコウ プロセス ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 杉本喜正 [著]
- Author Heading
- 杉本, 喜正 スギモト, ヨシマサ
- Degree grantor/type
- 静岡大学
- Date Granted
- 平成8年12月20日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第70号
- Degree Type
- 博士 (工学)