イオンビームによる高機能金属窒化物セラミックス薄膜の低温形成に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序章
p1
第2章 金属窒化物セラミックス薄膜形成における窒素分子と金属原子の反応及びイオン-固体間の相互作用に関する解析
p9
2.1 緒言
p9
2.2 窒素分子と金属原子の反応解析
p10
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- イオン ビーム ニ ヨル コウキノウ キンゾク チッカブツ セラミックス ハクマク ノ テイオン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 平野均 [著]
- Author Heading
- 平野, 均 ヒラノ, ヒトシ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成8年9月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第7030号
- Degree Type
- 博士 (工学)