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博士論文

水平コールドウォール型CVD装置内の熱流動に関する研究

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水平コールドウォール型CVD装置内の熱流動に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-97-G418
Bibliographic ID of National Diet Library
000000308286
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3123096
Material type
博士論文
Author
田之上健一郎 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
九州大学,博士 (工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

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  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景および目的

    p1

  • 1.2 既往の研究

    p6

  • 1.3 本論文の構成

    p12

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
スイヘイ コールド ウォールガタ CVD ソウチナイ ノ ネツ リュウドウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
田之上健一郎 [著]
Author Heading
田之上, 健一郎 タノウエ, ケンイチロウ
Degree grantor/type
九州大学
Date Granted
平成9年3月27日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
甲第4128号
Degree Type
博士 (工学)