ロジックLSI用高信頼性銅配線に関する研究
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目次
第1章 序論
p1
参考文献
p9
第2章 配線構造の決定
p16
2.1 バリアメタル材料の選択
p18
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ロジック LSIヨウ コウシンライセイ ドウ ハイセン ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 五十嵐泰史 [著]
- Author Heading
- 五十嵐, 泰史 イガラシ, ヤスシ
- Degree Grantor
- 法政大学
- Date Granted
- 平成9年3月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 乙第103号
- Degree Type
- 博士 (工学)