博士論文

超LSIのシリサイド電極および安定なオーミック接合に関する基礎研究

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超LSIのシリサイド電極および安定なオーミック接合に関する基礎研究

Call No. (NDL)
UT51-97-L473
Bibliographic ID of National Diet Library
000000310482
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3125292
Material type
博士論文
Author
角博文 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
鳥取大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

  • 目次

    p1

  • 1 序章

    p1

  • 1.1 MOS系半導体素子プロセス技術の概要

    p3

  • 1.2 半導体素子に用いられるシリサイドの概要

    p9

  • 1.3 本研究の目的

    p18

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
超LSIのシリサイド電極および安定なオーミック接合に関する基礎研究
Title Transcription
チョウLSI ノ シリサイド デンキョク オヨビ アンテイナ オーミック セツゴウ ニ カンスル キソ ケンキュウ
Author/Editor
角博文 [著]
Author Heading
角, 博文 スミ, ヒロフミ
Degree grantor/type
鳥取大学
Date Granted
平成9年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
甲第10号
Degree Type
博士 (工学)