博士論文
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ヘリウムあるいはアルゴンと酸素混合ガスを用いた高温超伝導スパッタ薄膜の作製とデバイス化に関する研究

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ヘリウムあるいはアルゴンと酸素混合ガスを用いた高温超伝導スパッタ薄膜の作製とデバイス化に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-97-L475
Bibliographic ID of National Diet Library
000000310484
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3125294
Material type
博士論文
Author
原田寛治 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
鳥取大学,博士 (工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景

    p1

  • 1.2 従来の研究概要

    p2

  • 1.3 本研究の目的と構成

    p5

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
ヘリウム アルイワ アルゴン ト サンソ コンゴウ ガス オ モチイタ コウオン チョウデンドウ スパッタ ハクマク ノ サクセイ ト デバイスカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
原田寛治 [著]
Author Heading
原田, 寛治 ハラダ, カンジ
Degree grantor/type
鳥取大学
Date Granted
平成9年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
甲第12号
Degree Type
博士 (工学)