博士論文

シリコン単結晶育成時のシリコン融液の物理化学的研究

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シリコン単結晶育成時のシリコン融液の物理化学的研究

Call No. (NDL)
UT51-97-M260
Bibliographic ID of National Diet Library
000000310795
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3125604
Material type
博士論文
Author
牛正剛 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
九州工業大学,博士 (工学)
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Table of Contents

  • 目次

  • 第1章 緒論

    p1

  • 1.1 緒言

    p1

  • 1.2 これまでのシリコン融液の表面張力測定結果及び問題点

    p3

  • 1.3 CZ法におけるシリコン融液の酸素濃度

    p9

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
シリコン単結晶育成時のシリコン融液の物理化学的研究
Title Transcription
シリコン タンケッショウ イクセイジ ノ シリコン ユウエキ ノ ブツリ カガクテキ ケンキュウ
Author/Editor
牛正剛 [著]
Author Heading
牛, 正剛 ギュウ, セイゴウ
Degree grantor/type
九州工業大学
Date Granted
平成9年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
甲第98号
Degree Type
博士 (工学)