縮小投影露光装置を用いたリソグラフィの高解像力化に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 リソグラフィの研究状況
p1
1.2 各種リソグラフィの方式
p4
1.3 微細加工における光リソグラフィの位置付け
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シュクショウ トウエイ ロコウ ソウチ オ モチイタ リソグラフィ ノ コウカイゾウリョクカ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 寺澤恒男 [著]
- Author Heading
- 寺澤, 恒男 テラサワ, ツネオ
- Degree grantor/type
- 九州工業大学
- Date Granted
- 平成8年12月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第3号
- Degree Type
- 博士 (情報工学)