走査トンネル顕微鏡 (STM) /走査トンネル分光法 (STS) によるSi表面反応の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 走査トンネル顕微鏡 (STM) /走査トンネル分光法 (STS) によるSi表面反応の研究
• Title Transcription: ソウサ トンネル ケンビキョウ (STM) / ソウサ トンネル ブンコウホウ (STS) ニ ヨル Si ヒョウメン ハンノウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 池上浩 [著]
• Author Heading: 池上, 浩 イケガミ, ヒロシ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成9年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 甲第3754号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-N400
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000311484; http://id.ndl.go.jp/bib/000000311484
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1-1 半導体デバイスと表面･界面科学の歴史的背景

1-2 本研究の背景

1-3 本研究の目的