博士論文
ImageImage

投影光学系リソグラフィーの高解像力化の研究

Icons representing 博士論文
The cover of this title could differ from library to library. Link to Help Page

投影光学系リソグラフィーの高解像力化の研究

Call No. (NDL)
UT51-97-R388
Bibliographic ID of National Diet Library
000000313245
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3128055
Material type
博士論文
Author
渋谷眞人 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京大学,博士 (工学)
View All

Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • 要旨

    要旨-1

  • 目次

  • 1章 序

    p1

  • 1.1 光リソグラフィーの概要

    p1

  • 1.2 解像力向上の手法と本研究

    p4

Read in Disability Resources

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
トウエイ コウガクケイ リソグラフィー ノ コウカイゾウリョクカ ノ ケンキュウ
Author/Editor
渋谷眞人 [著]
Author Heading
渋谷, 眞人 シブヤ, マサト
Degree grantor/type
東京大学
Date Granted
平成8年1月25日
Date Granted (W3CDTF)
1996
Dissertation Number
乙第12641号
Degree Type
博士 (工学)