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博士論文

レーザーアブレーション法による窒化アルミニウム薄膜作製に関する研究

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レーザーアブレーション法による窒化アルミニウム薄膜作製に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-97-T241
Bibliographic ID of National Diet Library
000000314212
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3129021
Material type
博士論文
Author
小川哲也 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

    p3

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景

    p1

  • 1.2 窒化アルミニウムの物理･化学的性質

    p2

  • 1.3 本研究の目的

    p4

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
レーザーアブレーション法による窒化アルミニウム薄膜作製に関する研究
Title Transcription
レーザー アブレーションホウ ニ ヨル チッカ アルミニウム ハクマク サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
小川哲也 [著]
Author Heading
小川, 哲也 オガワ, テツヤ
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
平成9年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
甲第5936号
Degree Type
博士 (工学)