酸化物薄膜の作成とそのイオンビーム分析に関する研究
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Table of Contents
目次
p3
第1章 緒論
p1
第2章 酸化物薄膜の作成とその評価
p8
2.1 緒言
p8
2.2 スパッタ法
p9
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- サンカブツ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ イオン ビーム ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 本多信一 [著]
- Author Heading
- 本多, 信一 ホンダ, シンイチ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成9年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 甲第5976号
- Degree Type
- 博士 (工学)