Production of helicon wave-excited plasma and application to sputter deposition

• Material Type: 博士論文
• Title: Production of helicon wave-excited plasma and application to sputter deposition
• Author/Editor: 張津秋 [著]
• Author Heading: 張, 津秋 チョウ, シンシュウ
• Alternative Title: ヘリコン波励起プラズマの生成とスパッタリングへの応用 ヘリコンハ レイキ プラズマ ノ セイセイ ト スパッタリング エ ノ オウヨウ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成9年6月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 甲第6077号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-T382
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000314353; http://id.ndl.go.jp/bib/000000314353
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Chapter1. General Introduction

1.1 Background

1.2 Objective of the research

1.3 Content of the research