GaAsのイオン注入・活性化技術とIC作製プロセスに関する研究
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Table of Contents
目次
p5
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 本研究の目的
p4
1.3 本論文の構成
p4
Holdings of Libraries in Japan
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- GaAs ノ イオン チュウニュウ カッセイカ ギジュツ ト IC サクセイ プロセス ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 田村彰良 [著]
- Author Heading
- 田村, 彰良 タムラ, アキヨシ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成9年1月16日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 乙第7082号
- Degree Type
- 博士 (工学)