半導体大規模集積回路 (LSI) における導電体薄膜および薄膜界面物性に及ぼす微量不純物の影響ならびに評価技術に関する研究
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Table of Contents
目次
p3
第1章 序論
p1
1.1 大規模集積回路(LSI)の開発および製造における現状と課題
p1
1.2 本研究の目的
p2
1.3 本研究の内容と本論文の構成
p3
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ ダイキボ シュウセキ カイロ (LSI) ニ オケル ドウデンタイ ハクマク オヨビ ハクマク カイメン ブッセイ ニ オヨボス ビリョウ フジュンブツ ノ エイキョウ ナラビニ ヒョウカ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 益子洋治 [著]
- Author Heading
- 益子, 洋治 マシコ, ヨウジ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成9年1月16日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 乙第7088号
- Degree Type
- 博士 (工学)