極高真空から低真空にわたる広圧力域で作動する高速回転真空ポンプに関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 極高真空から低真空にわたる広圧力域で作動する高速回転真空ポンプに関する研究
• Title Transcription: キョクコウ シンクウ カラ テイシンクウ ニ ワタル コウアツリョクイキ デ サドウスル コウソク カイテン シンクウ ポンプ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 井口昌司 [著]
• Author Heading: 井口, 昌司 イグチ, マサシ
• Degree grantor/type: 秋田大学
• Date Granted: 平成9年3月18日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 甲第284号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-U296
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000314845; http://id.ndl.go.jp/bib/000000314845
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒論

1-1 背景

1-2 高速回転真空ポンプの作動圧力領域の拡大に関する従来の研究

1-3 研究の目的と方法