容量-電圧特性の非接触測定に基づく半導体表面の評価法とその応用

• Material Type: 博士論文
• Title: 容量-電圧特性の非接触測定に基づく半導体表面の評価法とその応用
• Title Transcription: ヨウリョウ - デンアツ トクセイ ノ ヒセッショク ソクテイ ニ モトズク ハンドウタイ ヒョウメン ノ ヒョウカホウ ト ソノ オウヨウ
• Author/Editor: 坂井高正 [著]
• Author Heading: 坂井, 高正 サカイ, タカマサ
• Degree grantor/type: 北海道大学
• Date Granted: 平成9年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第5226号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-W164
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000315810; http://id.ndl.go.jp/bib/000000315810
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 電気的物理評価の特長と問題点

1.3 非接触･非破壊評価法の現状