電子シャワー、スパッタ、真空アーク法による窒化アルミニウム薄膜の作製と配向性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 電子シャワー、スパッタ、真空アーク法による窒化アルミニウム薄膜の作製と配向性に関する研究
• Title Transcription: デンシ シャワー スパッタ シンクウ アークホウ ニ ヨル チッカ アルミニウム ハクマク ノ サクセイ ト ハイコウセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 石原正統 [著]
• Author Heading: 石原, 正統 イシハラ, マサトウ
• Degree grantor/type: 東京理科大学
• Date Granted: 平成9年3月20日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 甲第320号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-W399
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000316045; http://id.ndl.go.jp/bib/000000316045
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

【目次】

第1章 緒論

1.1 本研究の背景

1.2 現在まで行われた研究

1.3 本研究の目的