シリコン系膜 (シリコン単結晶、シリコン多結晶、β型シリコンカーバイド) の化学気相成長に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコン系膜 (シリコン単結晶、シリコン多結晶、β型シリコンカーバイド) の化学気相成長に関する研究
• Title Transcription: シリコンケイ マク (シリコン タンケッショウ シリコン タケッショウ ベータガタ シリコン カーバイド) ノ カガク キソウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 三重野文健 [著]
• Author Heading: 三重野, 文健 ミエノ, フミタケ
• Degree grantor/type: 東京理科大学
• Date Granted: 平成8年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 乙第507号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-W414
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000316060; http://id.ndl.go.jp/bib/000000316060
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 本研究を行う背景

1.2 本研究の目的

1.3 従来の研究