イオンビーム照射による金属シリサイド形成の基礎過程と微細構造形成への応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: イオンビーム照射による金属シリサイド形成の基礎過程と微細構造形成への応用に関する研究
• Title Transcription: イオン ビーム ショウシャ ニ ヨル キンゾク シリサイド ケイセイ ノ キソ カテイ ト ビサイ コウゾウ ケイセイ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 馬場昭好 [著]
• Author Heading: 馬場, 昭好 ババ, アキヨシ
• Degree grantor/type: 九州大学
• Date Granted: 平成9年9月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 甲第4170号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-W461
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000316107; http://id.ndl.go.jp/bib/000000316107
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 研究の目的

1.2 研究の背景

1.3 本論文の要旨と構成