CZ法に於けるSi単結晶育成時の融液流動と酸素輸送に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 結晶育成プロセスと坩堝内に発生する流れ
p3
1.3 従来の研究
p10
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- CZホウ ニ オケル Si タンケッショウ イクセイジ ノ ユウエキ リュウドウ ト サンソ ユソウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 十河慎二 [著]
- Author Heading
- 十河, 慎二 トガワ, シンジ
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 平成9年9月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 乙第6531号
- Degree Type
- 博士 (工学)